Počet záznamů: 1
Silicon surface patterning by regular stripes of laser-induced periodic surface structures
- 1.
SYSNO ASEP 0561604 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Silicon surface patterning by regular stripes of laser-induced periodic surface structures Tvůrce(i) Sládek, Juraj (FZU-D) ORCID
Levy, Yoann (FZU-D)
Derrien, Thibault (FZU-D) ORCID
Bryknar, Z. (CZ)
Bulgakova, Nadezhda M. (FZU-D) ORCIDCelkový počet autorů 5 Číslo článku 154664 Zdroj.dok. Applied Surface Science. - : Elsevier - ISSN 0169-4332
Roč. 605, Dec. (2022)Poč.str. 8 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. NL - Nizozemsko Klíč. slova femtosecond laser processing ; laser beam scanning ; low spatial frequency LIPSS ; LSFL ; laser-induced amorphization Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery Obor OECD Optics (including laser optics and quantum optics) CEP EF15_003/0000445 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy Způsob publikování Omezený přístup Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 UT WOS 000856590300001 EID SCOPUS 85137168308 DOI 10.1016/j.apsusc.2022.154664 Anotace Laser-induced periodic surface structures (LIPSS) formation on the surface of mono-crystalline silicon is reported for a specific fabrication regime of large-area structuring. Using a femtosecond laser at 1030 nm wavelength, a particular range of fluence and beam overlap in two-dimensional scanning scheme has been identified where LIPSS-covered areas organize into stripes perpendicular to the scanning direction. The stripes, where the LIPSS appear, are regularly spaced and located in between the centers of two subsequent Gaussian pulses while the regions receiving the peak pulse fluence are free of LIPSS. The formation of the LIPSS stripes is examined by analyzing local integrated fluence, N-on-1 pulse damage geometry and thresholds of modifications. Processes at play in the generation of such stripes of LIPSS are discussed and an explanation based on interpulse feedback from amorphized areas is proposed. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2023 Elektronická adresa https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2022.154664
Počet záznamů: 1