Počet záznamů: 1

SMV-2021-62: Souřadnicové interferometrické systémy

SYSNO ASEP	0551039
Druh ASEP	V - Výzkumná zpráva
Zařazení RIV	V – výzkumná zpráva
Název	SMV-2021-62: Souřadnicové interferometrické systémy
Překlad názvu	SMV-2021-62: Coordinate interferometric systems
Tvůrce(i)	Lazar, Josef (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Vyd. údaje	Brno: Antonín Schenk s.r.o., 2021
Poč.str.	2 s.
Forma vydání	Tištěná - P
Jazyk dok.	cze - čeština
Země vyd.	CZ - Česká republika
Klíč. slova	interferometry ; positioning
Vědní obor RIV	BH - Optika, masery a lasery
Obor OECD	Optics (including laser optics and quantum optics)
Další zdroj	neveřejné zdroje
Anotace	Vývoj víceosých interferometrických systémů pro souřadnicové polohování a odměřování s měřením ve dvou a třech osách pro polohování vzorků v elektronových litografech.
Překlad anotace	Development of multiaxis interferometric systems for coordinate positioning and measurement in two and three axes for positioning of samples in electron-beam litography.
Pracoviště	Ústav přístrojové techniky
Kontakt	Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
Rok sběru	2022

Počet záznamů: 1