Počet záznamů: 1
Trajectory displacement in a multi beam scanning electron microscope
- 1.
SYSNO ASEP 0549399 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Trajectory displacement in a multi beam scanning electron microscope Tvůrce(i) Stopka, Jan (UPT-D) ORCID, SAI
Zuidema, W. (NL)
Kruit, P. (NL)Celkový počet autorů 3 Číslo článku 113223 Zdroj.dok. Ultramicroscopy. - : Elsevier - ISSN 0304-3991
Roč. 223, April (2021)Poč.str. 8 s. Forma vydání Tištěná - P Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. NL - Nizozemsko Klíč. slova Trajectory displacement ; Multi-beam electron microscope ; Coulomb interactions ; Slice method ; Electron optics Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery Obor OECD Optics (including laser optics and quantum optics) CEP TE01020118 GA TA ČR - Technologická agentura ČR LO1212 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy Způsob publikování Open access Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 UT WOS 000632279200007 EID SCOPUS 85100426261 DOI 10.1016/j.ultramic.2021.113223 Anotace The analytical theory of statistical Coulomb interactions allows to determine the trajectory displacement in a single rotationally symmetrical beam with well-behaved spatial and angular particle distributions. This can be used to estimate the trajectory displacement in a multi-beam system using the so called fully-filled segment approximation. This approach predicts full compensation of trajectory displacement for a specific setup of the system. We show that this prediction is not consistent with Monte Carlo simulations and we develop a new approach to the calculation, showing that two independent trajectory displacement contributions are present in a multi-beam system. We support this calculation with Monte Carlo simulations as well as with experimental data from a multi-beam system. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2022 Elektronická adresa https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S030439912100019X
Počet záznamů: 1