Počet záznamů: 1  

Specializovaná fotomaska pro měření projekční optiky

  1. 1.
    SYSNO0544775
    NázevSpecializovaná fotomaska pro měření projekční optiky
    Překlad názvuSpecial photomask for wavefront measurement of projection optics
    Tvůrce(i) Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Krátký, Stanislav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Meluzín, Petr (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Kopal, Jaroslav (UPT-D)
    Brunn, Ondřej (UPT-D) RID, ORCID
    Fordey, T. (CZ)
    Schovánek, P. (CZ)
    Vyd. údaje2021
    PoddruhFunkční vzorek
    Int.kódAPL-2021-04
    Technické parametryRozměry vzorku: disk o průměru 20 mm tloušťky 0,6 mm. Mezní rozlišení vzorku: 511,36 nm.
    Ekonomické parametryFunkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Ondřej Brunn, brunn@isibrno.cz
    Název vlastníkaÚstav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i., Meopta - optika, s.r.o., Univerzita Palackého v Olomouci
    Číselná identifikaceAPL-2021-04
    Druh dok.Prototyp, metodika, f.vzorek, aut.software, apl.výzkum-normy, u.vzor
    Grant TN01000008 GA TA ČR - Technologická agentura ČR, CZ - Česká republika
    Institucionální podporaUPT-D - RVO:68081731
    Jazyk dok.cze
    Země vyd.CZ
    Klíč.slova electron beam lithography * photomask
    Spolupracující instituce Univerzita Palackého v Olomouci, Přírodovědecká fakulta (Česká republika)
    Meopta - optika, s.r.o., Přerov (Česká republika)
    Trvalý linkhttp://hdl.handle.net/11104/0321586
     
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.