Počet záznamů: 1
Specializovaná fotomaska pro měření projekční optiky
- 1.
SYSNO ASEP 0544775 Druh ASEP L - Prototyp, funkční vzorek Zařazení RIV G - Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek) Poddruh RIV Funkční vzorek Název Specializovaná fotomaska pro měření projekční optiky Překlad názvu Special photomask for wavefront measurement of projection optics Tvůrce(i) Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Krátký, Stanislav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Meluzín, Petr (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Kopal, Jaroslav (UPT-D)
Brunn, Ondřej (UPT-D) RID, ORCID
Fordey, T. (CZ)
Schovánek, P. (CZ)Rok vydání 2021 Int.kód APL-2021-04 Technické parametry Rozměry vzorku: disk o průměru 20 mm tloušťky 0,6 mm. Mezní rozlišení vzorku: 511,36 nm. Ekonomické parametry Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Ondřej Brunn, brunn@isibrno.cz Název vlastníka Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i., Meopta - optika, s.r.o., Univerzita Palackého v Olomouci IČ vlastníka 68081731 Kat.výsl.dle nákl. A - Vyčerpaná část nákladů <= 5 mil. Kč Požad. na licenč. popl. A - Poskytovatel licence požaduje licenční poplatek Číselná identifikace APL-2021-04 Jazyk dok. cze - čeština Země vlastníka CZ - Česká republika Klíč. slova electron beam lithography ; photomask Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery Obor OECD Optics (including laser optics and quantum optics) CEP TN01000008 GA TA ČR - Technologická agentura ČR Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 Anotace Speciální foto maska sestává ze dvou odlišných sad obrazců realizovaných odlišnými technologickými postupy. Celá sestava masky je navržena tak, aby vykazovala definovanou kombinaci optických vlastností. Překlad anotace The special photo mask consists of two different sets of patterns realized by different technological procedures. The entire mask assembly is designed to perform a defined combination of optical features. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2022
Počet záznamů: 1