Počet záznamů: 1
Influence of short pulse duration of carbon dioxide lasers on extreme ultraviolet emission from laser-produced plasmas
- 1.
SYSNO 0510668 Název Influence of short pulse duration of carbon dioxide lasers on extreme ultraviolet emission from laser-produced plasmas Tvůrce(i) Amano, R. (JP)
Dinh, TH. (JP)
Sasanuma, A. (JP)
Arai, G. (JP)
Hara, H. (JP)
Fujii, Y. (JP)
Hatano, T. (JP)
Ejima, T. (JP)
Jiang, W. (JP)
Sunahara, A. (US)
Takahashi, A. (JP)
Nakamura, D. (JP)
Okada, T. (JP)
Sakaue, K. (JP)
Miura, Taisuke (FZU-D) RID
O'Sullivan, G. (IE)
Higashiguchi, T. (JP)Zdroj.dok. Japanese Journal of Applied Physics. Roč. 57, č. 7 (2018), s. 1-5. - : Institute of Physics Publishing Číslo článku 070311 Druh dok. Článek v odborném periodiku Grant LO1602 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy GA16-12960S GA ČR - Grantová agentura ČR JSPS-16-13, CZ - Česká republika, JP - Japonsko Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 Jazyk dok. eng Země vyd. JP Klíč.slova mid-IR laser pulses * EUV lithography applications * EUV emissions URL https://doi.org/10.7567/jjap.57.070311 Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0301085
Počet záznamů: 1