Počet záznamů: 1
Influence of short pulse duration of carbon dioxide lasers on extreme ultraviolet emission from laser-produced plasmas
- 1.
SYSNO ASEP 0510668 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Influence of short pulse duration of carbon dioxide lasers on extreme ultraviolet emission from laser-produced plasmas Tvůrce(i) Amano, R. (JP)
Dinh, TH. (JP)
Sasanuma, A. (JP)
Arai, G. (JP)
Hara, H. (JP)
Fujii, Y. (JP)
Hatano, T. (JP)
Ejima, T. (JP)
Jiang, W. (JP)
Sunahara, A. (US)
Takahashi, A. (JP)
Nakamura, D. (JP)
Okada, T. (JP)
Sakaue, K. (JP)
Miura, Taisuke (FZU-D) RID
O'Sullivan, G. (IE)
Higashiguchi, T. (JP)Celkový počet autorů 17 Číslo článku 070311 Zdroj.dok. Japanese Journal of Applied Physics. - : Institute of Physics Publishing - ISSN 0021-4922
Roč. 57, č. 7 (2018), s. 1-5Poč.str. 5 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. JP - Japonsko Klíč. slova mid-IR laser pulses ; EUV lithography applications ; EUV emissions Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery Obor OECD Optics (including laser optics and quantum optics) CEP LO1602 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy GA16-12960S GA ČR - Grantová agentura ČR Způsob publikování Omezený přístup Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 UT WOS 000436102000002 EID SCOPUS 85049383387 DOI 10.7567/JJAP.57.070311 Anotace We describe the production of mid-infrared (mid-IR) short carbon dioxide (CO2) laser pulses with variable durations from 3 to 15 ns at a maximum pulse energy of 150 mJ/pulse using a germanium (Ge) substrate semiconductor switch and a multipass amplifier. The results clearly show the spectral profiles possess all of the desired characteristics as well as the possibility of obtaining an energy conversion efficiency close to the theoretical upper limit. It is also shown that it is necessary to irradiate with pulse durations less than 10 ns to optimize efficient EUV emission using Sn and Gd targets. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2020 Elektronická adresa https://doi.org/10.7567/jjap.57.070311
Počet záznamů: 1