Počet záznamů: 1
Hybridní reaktivní HiPIMS depoziční systém s pro depozicioptických funkčních vrstev na bázi oxidů kovů
- 1.
SYSNO 0500945 Název Hybridní reaktivní HiPIMS depoziční systém s pro depozicioptických funkčních vrstev na bázi oxidů kovů Překlad názvu Hybrid reactive HiPIMS deposition system for the deposition of functional metal oxide thin films Tvůrce(i) Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Olejníček, Jiří (FZU-D) RID, ORCID
Kšírová, Petra (FZU-D) RID, ORCID
Tvarog, Drahoslav (FZU-D) ORCIDVyd. údaje Praha: IQ structures, 2018 Druh dok. Výzkumná zpráva Grant FV20580 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 Jazyk dok. cze Země vyd. CZ Klíč.slova plasma * discharge * thin film * HiPIMS Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0293030
Počet záznamů: 1