Počet záznamů: 1
Hybridní reaktivní HiPIMS depoziční systém s pro depozicioptických funkčních vrstev na bázi oxidů kovů
- 1.
SYSNO ASEP 0500945 Druh ASEP V - Výzkumná zpráva Zařazení RIV V – výzkumná zpráva Název Hybridní reaktivní HiPIMS depoziční systém s pro depozicioptických funkčních vrstev na bázi oxidů kovů Překlad názvu Hybrid reactive HiPIMS deposition system for the deposition of functional metal oxide thin films Tvůrce(i) Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Olejníček, Jiří (FZU-D) RID, ORCID
Kšírová, Petra (FZU-D) RID, ORCID
Tvarog, Drahoslav (FZU-D) ORCIDVyd. údaje Praha: IQ structures, 2018 Poč.str. 11 s. Jazyk dok. cze - čeština Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova plasma ; discharge ; thin film ; HiPIMS Vědní obor RIV BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech Obor OECD Fluids and plasma physics (including surface physics) CEP FV20580 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 Anotace Zpráva popisuje hybridní reaktivní HiPIMS depoziční systém s pro depozici optických funkčních vrstev na bázi oxidů kovů s definovanými optickými vlastnostmi. Překlad anotace The report describes a hybrid reactive HiPIMS deposition system for the deposition of functional metal oxide thin films with defined optical properties. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2021
Počet záznamů: 1