Počet záznamů: 1
Reaktivní HiPIMS depoziční systém optimalizovaný pro tenké optické vrstvy
- 1.Hubička, Z., Čada, M., Olejníček, J., Kšírová, P., Straňák, V., Adámek, P., Tvarog, D. Reaktivní HiPIMS depoziční systém optimalizovaný pro tenké optické vrstvy. Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i., Oddělení optických a biofyzikálních systémů, 2018. Funkční vzorek FVG1/FZU/2018.
Počet záznamů: 1