Coordinate interferometric measurement for high-resolution lithography

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO	0499698
Název	Coordinate interferometric measurement for high-resolution lithography
Tvůrce(i)	Lazar, Josef (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Zdroj.dok.	Sborník příspěvků multioborové konference LASER58. S. 39. - Brno : Ústav přístrojové techniky AV ČR, 2018 / Růžička Bohdan
Konference	LASER58, 17.10.2018 - 19.10.2018, Třešť
Druh dok.	Abstrakt
Institucionální podpora	UPT-D - RVO:68081731
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	CZ
Klíč.slova	metrology * interferometry * laser * lithography
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0291919

Počet záznamů: 1