Počet záznamů: 1
Coordinate interferometric measurement for high-resolution lithography
SYS 0499698 LBL 01000a^^22220027750^450 005 20240103221329.1 017 $2 DOI 100 $a 20190114d m y slo 03 ba 101 $a eng $d eng 102 $a CZ 200 1-
$a Coordinate interferometric measurement for high-resolution lithography 215 $a 1 s. $c P 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0498818 $1 010 $a 978-80-87441-24-4 $1 200 1 $a Sborník příspěvků multioborové konference LASER58 $v S. 39 $1 205 $a 1 $1 210 $a Brno $c Ústav přístrojové techniky AV ČR $d 2018 $1 541 $a Proceedings of multidisciplinary conference LASER58 $1 702 1 $4 340 $a Růžička $b Bohdan 610 $a metrology 610 $a interferometry 610 $a laser 610 $a lithography 700 -1
$3 cav_un_auth*0101586 $a Lazar $b Josef $i D6: Koherenční optika $j D6: Coherents Optics $p UPT-D $w Coherents Optics $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Počet záznamů: 1