Počet záznamů: 1
Coordinate interferometric measurement for high-resolution lithography
- 1.Lazar, J. Coordinate interferometric measurement for high-resolution lithography. In: RŮŽIČKA, Bohdan, ed. Sborník příspěvků multioborové konference LASER58. Brno: Ústav přístrojové techniky AV ČR, 2018, s. 39. ISBN 978-80-87441-24-4.
Počet záznamů: 1