Počet záznamů: 1
Thermal desorption spectroscopy in prototype furnace for chemical vapor deposition
- 1.
SYSNO ASEP 0494371 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Thermal desorption spectroscopy in prototype furnace for chemical vapor deposition Tvůrce(i) Průcha, Lukáš (UPT-D) ORCID
Daniel, Benjamin (UPT-D) RID
Piňos, Jakub (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Mikmeková, Eliška (UPT-D) RIDCelkový počet autorů 4 Zdroj.dok. Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Proceedings of the 16th International Seminar. - Brno : Institute of Scientific Instruments The Czech Academy of Sciences, 2018 - ISBN 978-80-87441-23-7 Rozsah stran s. 60-61 Poč.str. 2 s. Forma vydání Tištěná - P Akce Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation Datum konání 04.06.2018 - 08.06.2018 Místo konání Skalský dvůr Země CZ - Česká republika Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova thermal desorption spectroscopy ; CVD ; surface cleaning ; silicon Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika Obor OECD Electrical and electronic engineering CEP TE01020118 GA TA ČR - Technologická agentura ČR LO1212 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 UT WOS 000450591400022 Anotace Cleaning of the sample surfaces is crucial for scanning electron microscopy, especially for
low energy electron microscopy or for the deposition of thin layers, such as graphene,
where surface has to be well prepared. In the best case, every unwanted particle should be
cleaned from the sample surface for best low energy electron microscopy observation or thin
film deposition. Unfortunately, the standard cleaning procedures can leave residues on the
sample surface. This work is focused on thermal desorption spectroscopy (TDS). TDS is a method of observing desorbed molecules from a sample surface during the increase of
temperature of the sample. The aim of this study was to determine optimum conditions:
temperature and time, to achieve clean surfaces in the shortest time.Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2019
Počet záznamů: 1