Počet záznamů: 1
STEM modes in SEM
- 1.
SYSNO ASEP 0494365 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název STEM modes in SEM Tvůrce(i) Konvalina, Ivo (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Paták, Aleš (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Mikmeková, Eliška (UPT-D) RID
Mika, Filip (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Müllerová, Ilona (UPT-D) RID, SAI, ORCIDCelkový počet autorů 5 Zdroj.dok. Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Proceedings of the 16th International Seminar. - Brno : Institute of Scientific Instruments The Czech Academy of Sciences, 2018 - ISBN 978-80-87441-23-7 Rozsah stran s. 40-41 Poč.str. 2 s. Forma vydání Tištěná - P Akce Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation Datum konání 04.06.2018 - 08.06.2018 Místo konání Skalský dvůr Země CZ - Česká republika Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova SEM ; STEM Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika Obor OECD Electrical and electronic engineering CEP TE01020118 GA TA ČR - Technologická agentura ČR LO1212 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 UT WOS 000450591400014 Anotace The segmented semiconductor STEM detector in the Magellan 400 FEG SEM microscope
(https://www.fei.com/) is used to detect transmitted electrons (TEs) and allows observing
samples in four imaging modes. Two modes of objective lens, namely high resolution (HR)
and ultra-high resolution (UHR), differ by their resolution and by the presence or absence of
a magnetic field around the sample. If the beam deceleration (BD) mode is chosen, then
an electrostatic field around the sample is added and two further microscope modes HR + BD
and UHR + BD, become available. Trajectories of TEs are studied with regard to their angular
and energy distribution in each mode in this work.
Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2019
Počet záznamů: 1