Slumping of Si wafers at high temperature

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO	0481625
Název	Slumping of Si wafers at high temperature
Tvůrce(i)	Míka, M. (CZ) Jankovský, O. (CZ) Šimek, P. (CZ) Lutyakov, O. (CZ) Havlíková, R. (CZ) Šofer, Z. (CZ) Hudec, René (ASU-R)_{RID, ORCID} Pína, L. (CZ) Inneman, A. (CZ) Švéda, L. (CZ) Maršíková, V. (CZ)
Zdroj.dok.	Damage to VUV, EUV, and X-ray Optics IV; and EUV and X-ray Optics: Synergy between Laboratory and Space III. - Bellingham : SPIE, 2013 / Juha L. ; Bajt S. ; London R. ; Hudec R. ; Pína L.
Konference	Damage to VUV, EUV, and X-ray Optics IV; and EUV and X-ray Optics: Synergy between Laboratory and Space III, 15.04.2013-18.04.2013, Praha
Druh dok.	Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Institucionální podpora	ASU-R - RVO:67985815
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	US
Klíč.slova	silicon * x-ray telescope * thermal forming
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0277159

Počet záznamů: 1