Počet záznamů: 1
Zařízení k řízení depozice tenkých vrstev ve vakuovém vícetryskovém plazmovém systému
- 1.Olejníček, J., Šmíd, J., Hubička, Z., Adámek, P., Čada, M., Kment, Š. Zařízení k řízení depozice tenkých vrstev ve vakuovém vícetryskovém plazmovém systému. Užitný vzor 30018. 15. 11. 2016. Dostupné z: https://isdv.upv.cz/doc/FullFiles/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0030/uv030018.pdf
Počet záznamů: 1