Počet záznamů: 1
Time-resolved tuned diode laser absorption spectroscopy of pulsed plasma
- 1.
SYSNO ASEP 0439672 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Time-resolved tuned diode laser absorption spectroscopy of pulsed plasma Tvůrce(i) Adámek, Petr (FZU-D) RID, ORCID
Do, H.T. (DE)
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Hippler, R. (DE)Zdroj.dok. Journal of Physics: Conference Series, 511. - Bristol : IOP Publishing, 2014 - ISSN 1742-6596 Rozsah stran "012088-1"-"012088-6" Poč.str. 6 s. Forma vydání Tištěná - P Akce International Congress on Plasma Physics (ICPP) / 13th Latin American Workshop on Plasma Physics (LAWPP)/15./ Datum konání 08.08.2010-13.08.2010 Místo konání Santiago, CHILE Země CL - Chile Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. GB - Velká Británie Klíč. slova magnetron discharge ; aluminum Vědní obor RIV BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech CEP KAN301370701 GA AV ČR - Akademie věd GP202/09/P159 GA ČR - Grantová agentura ČR KJB100100805 GA AV ČR - Akademie věd 1M06002 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 UT WOS 000337223400088 EID SCOPUS 84901639737 DOI 10.1088/1742-6596/511/1/012088 Anotace A novel method for time-resolved tuned diode laser absorption spectroscopy has been developed. In this paper, we describe in detail developed electronic module that controls time-resolution of laser absorption spectroscopy system. The TTL signal triggering plasma pulse is used for generation of two signals: the first one triggers the fine tuning of laser wavelength and second one controls time-defined signal sampling from absorption detector. The described method and electronic system enable us to investigate temporal evolution of sputtered particles in technological low-temperature plasma systems. The pulsed DC planar magnetron sputtering system has been used to verify this method. The 2” in diameter titanium target was sputtered in pure argon atmosphere. The working pressure was held at 2 Pa. All the experiments were carried out for pulse ON time fixed at 100 μs. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2015
Počet záznamů: 1