Počet záznamů: 1
High power impulse magnetron sputtering of CIGS thin films for high efficiency thin film solar cells
- 1.
SYSNO ASEP 0435174 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Ostatní články Název High power impulse magnetron sputtering of CIGS thin films for high efficiency thin film solar cells Tvůrce(i) Olejníček, Jiří (FZU-D) RID, ORCID
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Kohout, Michal (FZU-D) RID, ORCID
Kšírová, Petra (FZU-D) RID, ORCID
Kment, Štěpán (FZU-D) RID, ORCID
Brunclíková, Michaela (FZU-D) RID
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Darveau, S.A. (US)
Exstrom, C.L. (US)Zdroj.dok. Plasma Physics and Technology - ISSN 2336-2626
Roč. 1, č. 3 (2014), s. 135-137Poč.str. 3 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova CIGS ; HiPIMS ; emission spectroscopy ; thin films ; magnetron sputtering Vědní obor RIV BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech CEP LH12045 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 Anotace In this work CuIn1-xGaxSe2 (CIGS) thin films with three different values of x (0; 0.28; 1) were prepared by nonreactive sputtering of Cu, In and Ga in HiPIMS (High Power Impulse Magnetron Sputtering) or DC magnetron and subsequently selenized in an Ar+Se atmosphere. Optical emission spectroscopy (OES) was used to monitor some basic plasma parameters during sputtering of metallic precursors. CIGS thin film characteristics were measured using X-ray diffraction (XRD), scanning electron microscopy (SEM), Raman spectroscopy, energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDX) and other techniques. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2015
Počet záznamů: 1