0423601 - ÚPT 2014 RIV cze P - Patentový dokument
Řeřucha, Šimon - Číp, Ondřej - Šarbort, Martin - Lazar, Josef
Způsob detekce interfernční fáze dvou interferujících laserových paprsků a zařízení pro provádění tohoto způsobu.
[Method and apparatus for detection of interference phase of two interfering laser beams.]
2013. Vlastník: Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. Datum udělení patentu: 02.10.2013. Číslo patentu: 304138
Grant CEP: GA MPO FR-TI2/705
Klíčová slova: laser * interferometry * nanometrology * optical metrology * displacement * inteference phase detection
Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery
Web výsledku:
http://spisy.upv.cz/Patents/FullDocuments/304/304138.pdf
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0229716