Počet záznamů: 1  

Estimation of mechanical properties of thin Al surface layer

  1. 1.
    SYSNO ASEP0387893
    Druh ASEPK - Konferenční příspěvek (lokální konf.)
    Zařazení RIVStať ve sborníku
    NázevEstimation of mechanical properties of thin Al surface layer
    Tvůrce(i) Petráčková, Klára (UFM-A)
    Kuběna, Ivo (UFM-A) RID, ORCID
    Truhlář, Michal (UFM-A)
    Náhlík, Luboš (UFM-A) RID, ORCID
    Kruml, Tomáš (UFM-A) RID, ORCID
    Celkový počet autorů5
    Zdroj.dok.14th International conference Applied Mechanics 2012 - Conference proceedings. - Plzeň : Západočeská univerzita v Plzni, 2012 / Lukeš V. ; Hajžman M. ; Byrtus M. - ISBN 978-80-261-0097-3
    S. 117-120
    Poč.str.4 s.
    Forma vydáníTištěná - P
    AkceApplied Mechanics 2012
    Datum konání16.04.2012-18.04.2012
    Místo konáníPlzeň
    ZeměCZ - Česká republika
    Typ akceEUR
    Jazyk dok.eng - angličtina
    Země vyd.CZ - Česká republika
    Klíč. slovamicrocompression ; thin film properties ; focused ion beam ; FEM modelling
    Vědní obor RIVJL - Únava materiálu a lomová mechanika
    Institucionální podporaUFM-A - RVO:68081723
    CEZAV0Z20410507 - UFM-A (2005-2011)
    AnotaceThe paper describes a new method for testing of thin layers, so-called microcompression test. As an example determination of Al thin film properties deposited on Si substrate is introduced in the paper. Microcompression combines the sample preparation with the use of focused ion beam (FIB) with a compression test carried out using nanoindenter. Cylindrical specimens (pillars) were prepared in Al film using FIB. The typical diameter of pillars was about 1.3 μm and their height was about 2 μm. The results depend on crystallographic orientation of pillar. Stress-strain curves of the thin film were obtained. Experimentally measured data on pillars needs correction to obtain undistorted material properties of Al thin film. A necessary correction using finite element modeling is suggested in the paper. The paper contributes to a better characterization of very thin surface layers and determination of their mechanical properties.
    PracovištěÚstav fyziky materiálu
    KontaktYvonna Šrámková, sramkova@ipm.cz, Tel.: 532 290 485
    Rok sběru2013
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.