Počet záznamů: 1
Multiaxis interferometric displacement measurement for local probe microscopy
- 1.
SYSNO ASEP 0372559 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Multiaxis interferometric displacement measurement for local probe microscopy Tvůrce(i) Lazar, Josef (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Hrabina, Jan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Šerý, Mojmír (UPT-D) RID, SAI
Klapetek, P. (CZ)
Číp, Ondřej (UPT-D) RID, SAI, ORCIDCelkový počet autorů 5 Zdroj.dok. Central European Journal of Physics - ISSN 1895-1082
Roč. 10, č. 1 (2012), s. 225-231Poč.str. 7 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. PL - Polsko Klíč. slova interferometry ; nanometrology ; microscopy Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery CEP LC06007 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy KAN311610701 GA AV ČR - Akademie věd GA102/09/1276 GA ČR - Grantová agentura ČR CEZ AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011) UT WOS 000297743800028 EID SCOPUS 82555168279 DOI 10.2478/s11534-011-0093-5 Anotace We present an overview of design approaches for nanometrology measuring setups with a focus on interferometry techniques and associated problems. The design and development of a positioning system with interferometric multiaxis monitoring and control is presented. The system is intended to operate as a national nanometrology standard combining local probe microscopy techniques and sample position control with traceability to the primary standard of length. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2012
Počet záznamů: 1