Počet záznamů: 1
Technologie zápisu elektronovým svazkem proměnné velikosti 66 - 2100 nm
- 1.
SYSNO 0336589 Název Technologie zápisu elektronovým svazkem proměnné velikosti 66 - 2100 nm Překlad názvu E-Beam Writing Technology with Variable Beam Size of 66 - 2100 nm Tvůrce(i) Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Matějka, František (UPT-D) RID, SAI
Horáček, Miroslav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Lencová, Bohumila (UPT-D) RID, SAI
Matějka, Milan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Král, Stanislav (UPT-D) RID, SAI
Urbánek, Michal (UPT-D) RID
Mikšík, P. (CZ)
Vašina, J. (CZ)
Horák, R. (CZ)Vyd. údaje 2009 Poddruh Ověřená technologie Int.kód 162 410 Vlastník výsledku Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. Technické parametry Proudová hustota ve svazku (min – střed - max): 1,8 – 3,6 – 14,4 A/cm2. Otočení souřadnic tvarování, vychylování a posuvu substrátu: -45 stupňů. Ekonomické parametry Desetkrát vyšší proudová hustota umožňuje zvýšit základní expoziční dobu až desetkrát, což má přímý vliv na produktivitu. Zmenšení velikosti svazku umožňuje dosáhnout vyššího rozlišení, což umožňuje realizovat struktury dříve nerealizovatelné. Druh dok. Poloprovoz, ověřená technol., odrůda, plemeno Grant FR-TI1/576 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu Jazyk dok. cze Země vyd. CZ Klíč.slova electron beam lithography * shaped electron beam Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0180792
Počet záznamů: 1