Počet záznamů: 1
Technologie zápisu elektronovým svazkem proměnné velikosti 66 - 2100 nm
- 1.KOLAŘÍK, V., MATĚJKA, F., HORÁČEK, M., LENCOVÁ, B., MATĚJKA, M., KRÁL, S., URBÁNEK, M., MIKŠÍK, P., VAŠINA, J., HORÁK, R. Technologie zápisu elektronovým svazkem proměnné velikosti 66 - 2100 nm. Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i., 2009. Ověřená technologie 162 410.
Počet záznamů: 1