Počet záznamů: 1
Technologie zápisu elektronovým svazkem proměnné velikosti 66 - 2100 nm
- 1.KOLAŘÍK, Vladimír, MATĚJKA, František, HORÁČEK, Miroslav, LENCOVÁ, Bohumila, MATĚJKA, Milan, KRÁL, Stanislav, URBÁNEK, Michal, MIKŠÍK, P., VAŠINA, J., HORÁK, R. Technologie zápisu elektronovým svazkem proměnné velikosti 66 - 2100 nm. Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i., 2009. Ověřená technologie 162 410.
Počet záznamů: 1