Počet záznamů: 1
Local probe microscopy with interferometric monitoring of the stage nanopositioning
- 1.
SYSNO ASEP 0316647 Druh ASEP A - Abstrakt Zařazení RIV Záznam nebyl označen do RIV Zařazení RIV Není vybrán druh dokumentu Název Local probe microscopy with interferometric monitoring of the stage nanopositioning Překlad názvu Mikroskopie s lokální sondou s interferometrickým měřením polohy vzorku Tvůrce(i) Lazar, Josef (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Klapetek, P. (CZ)
Číp, Ondřej (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Čížek, Martin (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Šerý, Mojmír (UPT-D) RID, SAIZdroj.dok. NanoScale 2008 - 8th Seminar on Quantitative Microscopy (QM) and 4th Seminar on Nanoscale Calibration Standards and Methods. - Torino : Istituto Nazionale di Ricerca Metrologica, 2008 - ISBN N
S. 20Poč.str. 1 s. Akce NanoScale 2008 Datum konání 22.09.2008-23.09.2008 Místo konání Torino Země IT - Itálie Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. IT - Itálie Klíč. slova interferometry ; local probe microscopy ; nanometrology Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery CEZ AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011) Anotace We present nanopositioning stage embedded in a frame with six-axes interferometric system supplied from a stabilized single-frequency frequency doubled 532 nm Nd:YAG laser. Low noise and high output power of the laser source ensure good noise performance of the interferometric detection chain. Multipass interferometers, shorter wavelength compared to the traditional 633 nm He-Ne laser and advanced signal processing and scale linearization results in significant improvement of resolution and overall precision compared to the stage controlled only through capacitive sensors. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2009
Počet záznamů: 1