Počet záznamů: 1
Phase elements by means of photo-lithographic system employing a spatial light modulator
- 1.
SYSNO 0304116 Název Phase elements by means of photo-lithographic system employing a spatial light modulator Tvůrce(i) Aubrecht, Ivo (URE-Y)
Miler, Miroslav (URE-Y)
Pala, Jan (URE-Y)Zdroj.dok. Photonics, Devices and Systems II. s. 63-66 / Hrabovský M. ; Senderáková D. ; Tománek P. Vyd. údaje Bellingham: SPIE The International Society for Optical Engineering, 2003 Edice Proceedings of SPIE. , 5036 ISBN 0-8194-4837-0 ISSN 0277-786X Konference Photonics Prague'2002 /4./, Prague, 26.05.2002-29.05.2002 Druh akce Konference Druh dok. Konferenční příspěvek (zahraniční konf.) Grant GA202/01/0428 GA ČR - Grantová agentura ČR CEZ AV0Z2067918 - URE-Y Jazyk dok. eng Země vyd. US Klíč.slova spatial light modulators * photolitography * photoresists Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0114257
Počet záznamů: 1