Počet záznamů: 1  

Plasma diagnostics by energy-resolved mass spectroscopy of ions during triode ion plating of TiN films

  1. 1.
    SYSNO ASEP0131624
    Druh ASEPC - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.)
    Zařazení RIVD - Článek ve sborníku
    NázevPlasma diagnostics by energy-resolved mass spectroscopy of ions during triode ion plating of TiN films
    Tvůrce(i) Kadlec, Stanislav (FZU-D) ORCID
    Maček, M. (SI)
    Wouters, S. (BE)
    Navinšek, B. (SI)
    Paujan, P. (SI)
    Quaeyhaegeis, C. (BE)
    Stals, L. M. (BE)
    Zdroj.dok.International Congres on Plasma Physics / Pavlo P.. - Praha : European Physics Society, 1998
    Rozsah strans. 2805-2808
    Poč.str.4 s.
    AkceConference on Controlled Fusion and Plasma Physics /25./ (1998 ICPP)
    Datum konání29.06.1998-03.07.1998
    Místo konáníPraha
    ZeměCZ - Česká republika
    Jazyk dok.eng - angličtina
    Země vyd.CZ - Česká republika
    Vědní obor RIVBL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
    CEPGV106/96/K245 GA ČR - Grantová agentura ČR
    PracovištěFyzikální ústav
    KontaktKristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
    Rok sběru1999

Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.