Počet záznamů: 1
Detection of residual molybdenum impurity in CVD diamond
- 1.
SYSNO ASEP 0101832 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Ostatní články Název Detection of residual molybdenum impurity in CVD diamond Překlad názvu Detekce zbytkové molybdenové nečistoty v CVD diamantu Tvůrce(i) Kromka, A. (CZ)
Kravetz, R. (CZ)
Poruba, A. (CZ)
Zemek, J. (CZ)
Peřina, Vratislav (UJF-V) RID
Rosa, J. (CZ)
Vaněček, M. (CZ)Zdroj.dok. Physica Status Solidi A : Applied Research - ISSN 0031-8965
Roč. 199, č. 1 (2003), s. 108-112Poč.str. 5 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. DE - Německo Klíč. slova transform photocurrent spectroscopy ; electron-paramagnetic-resonance Vědní obor RIV BG - Jaderná, atomová a mol. fyzika, urychlovače CEP KSK1010104 GA AV ČR - Akademie věd CEZ AV0Z1048901 - UJF-V Anotace Raman scattering, X-ray photoemission spectroscopy (XPS), Fourier transform photocurrent spectroscopy (FTPS), Rutherford backscattering (RBS) and electron paramagnetic resonance (EPR) method have been used for characterization of diamond layers deposited by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition (MWPECVD). As substrates, thick silicon wafers pretreated by the mechanical seeding have been used, surrounded by the molybdenum ring. Here we report how this configuration can lead to the Mo contamination of diamond layers (similar effect to the well known contamination of diamond by Si) and we study the optical spectra related to the presence of molybdenum and other impurities over the bulk of deposited layers. Mo contamination was confirmed by XPS measurements, but we were not able to detect it by RBS and EPR Pracoviště Ústav jaderné fyziky Kontakt Markéta Sommerová, sommerova@ujf.cas.cz, Tel.: 266 173 228 Rok sběru 2005
Počet záznamů: 1