Počet záznamů: 1
Kvantifikace detekční účinnosti detektoru sekundárních elektronů v REM
- 1.
SYSNO ASEP 0050988 Druh ASEP K - Konferenční příspěvek (lokální konf.) Zařazení RIV Záznam nebyl označen do RIV Název Kvantifikace detekční účinnosti detektoru sekundárních elektronů v REM Překlad názvu The quantification of the detection efficiency of the secondary electron detector in SEM Tvůrce(i) Konvalina, Ivo (UPT-D) RID, ORCID, SAI Zdroj.dok. PDS 2006 - Sborník prací doktorandů oboru Elektronová optika. - Brno : ÚPT AV ČR, 2006 - ISBN 80-239-7957-4
S. 25-28Poč.str. 4 s. Akce PDS 2006 Datum konání 19.12.2006 Místo konání Brno Země CZ - Česká republika Typ akce CST Jazyk dok. cze - čeština Klíč. slova collection efficiency ; ET detector ; secondary electrons Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika CEP GA102/05/2327 GA ČR - Grantová agentura ČR Anotace 4) Práce se zabývá modelováním trajektorií sekundárních elektronů pro stanovení sběrové účinnosti detektorů sekundárních elektronů v rastrovacích elektronových mikroskopech. Cílem práce je studovat vlivy elektrostatických a magnetických polí a geometrických parametrů v komoře mikroskopu na trajektorie signálních částic v okolí detektoru. Překlad anotace This work deals with the trajectories of the secondary electrons simulations to calculate the collection efficiency of the secondary electron detector in the scanning electron microscopes. The aim of this work is to study the influences of the electrostatic and magnetic fields and the geometrical parameters in the specimen chamber on the trajectories of signal particles in the detector vicinity. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2007
Počet záznamů: 1