Nástavec pro objektivovou čočku

0536587 - ÚPT 2021 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Seďa, B. - Vašina, R. - Oral, Martin - Řiháček, Tomáš - Radlička, Tomáš
Nástavec pro objektivovou čočku.
[Objective lens extender.]
Interní kód: APL-2020-09 ; 2020
Technické parametry: Extender je prstenec s upínacím mechanizmem, který se umístí na spodní pól objektivové čočky skenovacího elektronového mikroskopu. Extender je vyroben z magneticky vodivého materiálu – permalloy Ni48. Pomocí extenderu se změní parametry magnetického imerzního pole objektivové čočky: maximální magnetická indukce a poloha tohoto maxima.Vedle změny parametrů magnetické finální čočky se také změní vlastnosti elektrostatické finální čočky. Pomocí extenderu je možné získat lepší laterální rozlišení a změnu v akceptaci signálních elektronů na detektorech umístěných v tubusu mikroskopu. Přínos extenderu pro zlepšení vlastností skenovacího elektronového mikroskopu se mění podle operačních podmínek.
Ekonomické parametry: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Martin Oral, Ph.D., oral@isibrno.cz
Grant CEP: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: scanning electron microscope * variable objective lens * acceptance of signal electrons * secondary electrons * resolution * immersion field
Obor OECD: Electrical and electronic engineering

Extender pro objektivovou čočku, který mění magnetické a elektrostatické pole objektivové čočky a tím i trajektorie primárních a signálních elektronů. Je designován tak, aby zvýšil detekční účinnost v oblasti sekundárních elektronů při současném zlepšení laterálního rozlišení systému.

Objective lens extender changes magnetic and electrostatic field in the objective lens regions. The trajectories of the primary and secondary electrons are changed in respect to the state without the extender. The extender is designed to increase the detection of secondary electrons and the resolution of the system.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0314350