Možnosti zobrazení dopovaných křemíkových struktur v PEEM a LVSEM

0308431 - ÚPT 2008 CZ cze K - Konferenční příspěvek (tuzemská konf.)
Hovorka, Miloš - Mika, Filip - Frank, Luděk
Možnosti zobrazení dopovaných křemíkových struktur v PEEM a LVSEM.
[Imaging of doped silicon structures using PEEM and LVSEM.]
Mikroskopie 2008. Praha: Československá mikroskopická společnost, 2008 - (Frank, L.), s. 21. ISBN N.
[Mikroskopie 2008. Nové Město na Moravě (CZ), 07.02.2008-08.02.2008]
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
Klíčová slova: dopants * PEEM * SEM * silicon
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

Studium dotovaných křemíkových struktur s využitím fotoemisní mikroskopie a nízkonapěťové rastrovací elektronové mikroskopie.

Study of doped silicon structures using photoemission electron microscopy and low-voltage scanning electron microscopy.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0160916