Počet záznamů: 1
Analýza tenkých vrstev metodou SIMS
- 1.0306519 - ÚFE 2008 RIV CZ cze J - Článek v odborném periodiku
Lorinčík, Jan
Analýza tenkých vrstev metodou SIMS.
[Analysis of thin films with SIMS.]
Zpravodaj ČVS. Roč. 15, 1/2 (2007), s. 32-40. ISSN 1213-2705.
[Letní škola vakuové techniky. Štrbské pleso, 04.06.2007-07.06.2007]
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20670512
Klíčová slova: secondary ion mass spectrometry
Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
Cílem práce je ukázat aplikační možnosti metody hmotnostní spektrometrie sekundárních iontů - SIMS při analýze tenkých vrstev a povrchů.
The aim of this work was to demonstrate the aplication potential of the Secondary Ion Mass Spectrometry – SIMS in the analysis of thin films and solid surfaces.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0159518
Počet záznamů: 1