Počet záznamů: 1  

Analýza tenkých vrstev metodou SIMS

  1. 1.
    0306519 - ÚFE 2008 RIV CZ cze J - Článek v odborném periodiku
    Lorinčík, Jan
    Analýza tenkých vrstev metodou SIMS.
    [Analysis of thin films with SIMS.]
    Zpravodaj ČVS. Roč. 15, 1/2 (2007), s. 32-40. ISSN 1213-2705.
    [Letní škola vakuové techniky. Štrbské pleso, 04.06.2007-07.06.2007]
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20670512
    Klíčová slova: secondary ion mass spectrometry
    Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

    Cílem práce je ukázat aplikační možnosti metody hmotnostní spektrometrie sekundárních iontů - SIMS při analýze tenkých vrstev a povrchů.

    The aim of this work was to demonstrate the aplication potential of the Secondary Ion Mass Spectrometry – SIMS in the analysis of thin films and solid surfaces.
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0159518

     
     
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.