0602561 - ÚPT 2025 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Krátký, Stanislav - Fořt, Tomáš - Pokorný, Pavel - Horáček, Miroslav - Kolařík, Vladimír - Venos, Š. - Úlehla, L.
Dělič svazku pro DUV oblast.
[Beam splitter in DUV region.]
Interní kód: APL–2024-11 ; 2024
Technické parametry: Fázový difrakční optický element připravený v materiálu fused silica sloužící jako mnohonásobný dělič svazku pro DUV oblast.
Ekonomické parametry: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Stanislav Krátký, Ph.D., kratky@isibrno.cz.
Grant CEP: GA TA ČR(CZ) TN02000020
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: beam splitter * diffractive optical element * e-beam lithography * reactive ion etching
Obor OECD: Optics (including laser optics and quantum optics)

Binární fázový difrakční optický element byl navržen jako dělič svazku s vysokým počtem užitečných difrakčních řádů pro vlnovou délku dopadajícího světla 266 nm. Vzorek obsahuje struktury s různou střídou pro dosažení minimální účinnosti v 0. difrakčním řádu. Vzorek byl připraven pomocí elektronové litografie a reaktivního iontového leptání do materiálu fused silica. Na obě strany vzorku byla nanesena antireflexní vrstvy pro minimalizaci ztrát na rozhraní substrátu a vzduchu.

Binary phase diffractive optical element was designed as a beam splitter with high number of diffractive orders pro wavelength of 266 nm. The sample contains structures with various duty cycles to achieve minimal efficiency of the 0. diffractive order. The sample was fabricated of fused silica by the use of e-beam lithography and reactive ion etching. The anti-reflective coating was prepared on both sides of the sample to minimize the losses on the substrate-air interface.
Trvalý link: https://hdl.handle.net/11104/0359785