Způsob vytváření pulzního magnetronového výboje společně s obloukovým odpařováním

0580734 - FZÚ 2024 RIV cze P - Patentový dokument
Vyskočil, J. - Mareš, P. - Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Tvarog, Drahoslav
Způsob vytváření pulzního magnetronového výboje společně s obloukovým odpařováním.
[A method of creating a pulsed magnetron discharge together with arc evaporation.]
2023. Vlastník: Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.,HVM Plasma spol. s r.o. Datum udělení patentu: 29.03.2023. Číslo patentu: 309606. Teritoriální ochrana: národní patent v členském státě EU .
Grant CEP: GA MPO FV30177
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: planar magnetron * arc evaporation * pulsed discharge
Obor OECD: Fluids and plasma physics (including surface physics)
https://isdv.upv.gov.cz/doc/FullFiles/Patents/FullDocuments/309/309606.pdf

Předkládaný vynález se týká způsobu a zařízení pro vytváření pulzního magnetronového výboje společně s obloukovým odpařováním ve vakuové komoře a zařízení pro povlakování využívající výše uvedeného pulzního magnetronového výboje s obloukovým odpařováním. Způsob obsahuje kroky vytvoření pulzně buzeného magnetronového výboje první pulzní napěťovou jednotkou a zapálení katodového vakuového oblouku druhou pulzní jednotkou vytvářející inicializační pulz, přičemž první a druhá pulzní jednotka jsou paralelně spojené, a způsob dále spočívá v tom, že zapálení katodového vakuového oblouku probíhá během pulzního magnetronového výboje první pulzní napěťové jednotce, a že se slučují napěťové pulzy generované pomocí pulzních napěťových jednotek a v modulu přenášející pulzní výboj na magnetronovou katodu.

The invention is a method and apparatus for creating a pulsed magnetron discharge together with arc evaporation in a vacuum chamber and a coating device using this pulsed magnetron discharge with arc evaporation. The method comprises the steps of generating a pulsed magnetron discharge by the first pulsed voltage unit and igniting the cathode vacuum arc by the second pulsed unit producing an initialization pulse, the first and second pulsed units are connected in parallel, and the method further comprises in that the cathode vacuum arc is ignited during the pulsed magnetron discharge of the first pulsed voltage unit, and that the voltage pulses generated by the pulse voltage units and in the module transmitting the pulse discharge to the magnetron cathode are combined.
Trvalý link: https://hdl.handle.net/11104/0349492