Vzorek skleněného substrátu se strukturou fázových změn vytvořenou pomocí vlnové délky 515 nm

0573816 - FZÚ 2024 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Vanda, Jan - Mydlář, Martin
Vzorek skleněného substrátu se strukturou fázových změn vytvořenou pomocí vlnové délky 515 nm.
[Glass substrate sample with phase modifications structure formed by wavelength 515 nm.]
Interní kód: TM01000021-V5 ; 2022
Technické parametry: Na substrátu D263 o tloušťce 0,1 mm jsou pomocí několika paralelních Besselovských svazků vytvořeny krátery na přední i zadní straně, mezi kterými se nachází masa fázově změněného materiálu s mikrokanálky vytvořenými díky nelineárním jevům vznikajícím při průchodu ultrakrátkých laserových pulzů s vysokou fluencí. Procesní rychlost je > 10 000 kráterů za vteřinu, fluence ve svazku > 8 Jcm-2 na vlnové délce 515 nm, poziční odchylka kráterů < 10% průměru.
Ekonomické parametry: Výsledek slouží ověření funkčnosti technologie mnohosvazkového zpracování dielektrických materiálů Besselovským svazkem a bude využit pro další rozvoj této technologie. Díky provedené modifikaci je možné krátery vyleptat a vytvořit tzv. TGVs (thru-glass-vias), díky čemuž lze takový substrát použít jako hostovací materiál pro vysokofrekvenční mikroelektroniku. Protože Fyzikální ústav nemá jako svoji hlavní činnost výrobu v oblasti mikroelektroniky, bude hledat vhodného průmyslového partnera pro další rozvoj této technologie.
Grant CEP: GA TA ČR TM01000021
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: TGV * LIDT * DPSSL * laser damage * LIDE * ultra-short pulses
Obor OECD: Materials engineering

Matice kráterů o průměru 4 mikrony a hloubce 350 nm s odsazením 0,7 mm horizontálně a 1,5 mm vertikálně, nacházející se na obou stranách skleněného substrátu typu Schott D263 o rozměrech 50x50 mm2 a tloušťce 0,1 mm.

Matrix of craters with 4 microns in diameter and 350 nm depth, with 0,7 mm horizontal spacing and 1,5 mm vertical spacing, formed on both sides of glass substrate Schott D263 with dimensions 50x50 mm2 and 0,1 mm thickness.
Trvalý link: https://hdl.handle.net/11104/0344172