Nelineární fázová maska pro výrobu vláknových filtrů s definovanou strmostí spektrální charakteristiky

0566648 - ÚPT 2023 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Krátký, Stanislav - Kolařík, Vladimír - Mikel, Břetislav - Fořt, Tomáš - Helán, R. - Urban, F.
Nelineární fázová maska pro výrobu vláknových filtrů s definovanou strmostí spektrální charakteristiky.
[Apodized phase mask for the manufacture of fiber Bragg grating filter with defined transmission spectrum.]
Interní kód: APL-2022-30 ; 2022
Technické parametry: Fázová difrakční maska s rozlišením periody 0,1 nm připravená v materiálu fused silica naladěná pro expozici světlem s vlnovou délkou 248 nm a přípravu nelineárního vláknového filtru.
Ekonomické parametry: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Stanislav Krátký, Ph.D., kratky@isibrno.cz.
Grant CEP: GA TA ČR(CZ) FW01010379
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: apodized phase mask * diffraction grating * electron-beam lithography
Obor OECD: Optics (including laser optics and quantum optics)

Nelineární fázová maska byla navržena tak, aby minimalizovala účinnost nežádoucích difrakčních řádů a maximalizovala účinnost 1. difrakčního řádu. Vzorek byl připraven pomocí elektronové litografie a reaktivního iontového leptání. Tyto dvě technologie zaručují dosažení požadovaných parametrů masky pro následnou výrobu vláknových filtrů s nelineární spektrální charakteristikou.

Apodized phase mask was designed to minimize the efficiency of undesirable diffraction orders and also to maximize the efficiency of the 1. diffraction order. The sample was fabricated by the use of e-beam lithography and reactive ion etching. These technologies guarantee achieving designed parameters of the mask for upcoming manufacture of fiber bragg grating filters with apodized spectrum.
Trvalý link: https://hdl.handle.net/11104/0337962