Kalibrační standard pro metodu spektroskopii sekundárních elektronů v SEM

0566540 - ÚPT 2023 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Mika, Filip - Krátký, Stanislav - Pokorná, Zuzana
Kalibrační standard pro metodu spektroskopii sekundárních elektronů v SEM.
[Calibration standard sample for secondary electron spectroscopy in SEM.]
Interní kód: APL-2022-11 ; 2022
Technické parametry: Kalibrační vzorek obsahující mikrometrové struktury s různých materiálů vykazující odlišnou emisivitu sekundárních elektronů. Tloušťka jednotlivých materiálů je 150um a šířka proužků ze stříbra a chromu je 2 respektive 1 um.
Ekonomické parametry: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Filip Mika, Ph.D.
Grant CEP: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: test sample * scanning electron microscope * secondary electron spectrometer
Obor OECD: Materials engineering

Vzorek s litografickou strukturou bude sloužit ke kalibraci metody spektroskopie sekundárních elektronů s nanometrovým rozlišením v SEM. Bude obsahovat přesně definované oblasti jak plošně, tak do hloubky. Materiál oblastí bude volen tak, aby bylo možné nastavit parametry analýzy a snadno úhlově a energiově rozlišit získaný signál sekundárních elektronů.

The sample with a dedicated structure fabricated by electron beam lithography will be used in SEM for the calibration of nanometre-resolution secondary electron spectroscopy. It will contain areas of a precisely defined depth, width and materials composition allowing the observer to fine-tune the parameters of the analysis and easily resolve the secondary electron signal both in energy and angle.
Trvalý link: https://hdl.handle.net/11104/0337867