Počet záznamů: 1
SMV-2021-62: Souřadnicové interferometrické systémy
- 1.0551039 - ÚPT 2022 RIV CZ cze V - Výzkumná zpráva
Lazar, Josef
SMV-2021-62: Souřadnicové interferometrické systémy.
[SMV-2021-62: Coordinate interferometric systems.]
Brno: Antonín Schenk s.r.o., 2021. 2 s.
Zdroj financování: N - neveřejné zdroje
Klíčová slova: interferometry * positioning
Obor OECD: Optics (including laser optics and quantum optics)
Vývoj víceosých interferometrických systémů pro souřadnicové polohování a odměřování s měřením ve dvou a třech osách pro polohování vzorků v elektronových litografech.
Development of multiaxis interferometric systems for coordinate positioning and measurement in two and three axes for positioning of samples in electron-beam litography.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0326352
Počet záznamů: 1