Držák fázových destiček pro čištění

0550699 - ÚPT 2022 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Materna Mikmeková, Eliška - Sýkora, Jiří - Piňos, Jakub - Průcha, Lukáš - Radlička, Tomáš
Držák fázových destiček pro čištění.
[Phase plates holder for the cleaning procedures.]
Interní kód: APL-2021-08 ; 2021
Technické parametry: Funkční vzorek držáku fázových destiček se skládá se dvou přesně definovaných vyfrézovaných duralových destiček s otvory na 25 apertur, na kterých jsou fázové destičky nalepeny pastou na bázi uhlíku či speciální stříbrnou pastou používanou při přípravě vzorků do rastrovacích elektronových mikroskopů.
Ekonomické parametry: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Eliška Materna Mikmeková, Ph.D. MBA, eliska@isibrno.cz.
Grant CEP: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: apertures holder * phase plates * transmission electron microscopy * cleaning
Obor OECD: Electrical and electronic engineering

Funkční vzorek Držák fázových destiček pro čištění byl navržen a vyroben pro manipulaci při čištění fázových destiček umístěných na platinových aperturách. Během výroby fázové destičky, jejího připevnění na křemíkový čip, následného nalepení na platinovou aperturu a pokrytí tenkou molybdenovou vrstvou, vzniká relativně křehký systém, se kterým se musí velmi jemně manipulovat. Aby nedocházelo k jejich poškození během čistění a mohlo se manipulovat s více destičkami na aperturách najednou, byl navržen a vyroben speciální držák. Čištění systému od vzniklých nečistot může probíhat jak vyhřátím na teplotu cca 200 °C nebo oplazmením kyslíkovými radikály.

Functional sample Phase plates holder for the cleaning procedures was designed for their manipulation during the cleaning of phase plates placed on platinum apertures. During their manufacturing: placed on the silicon chip, glue to platinum apertures and finally covered by sputtered molybdenum thin films. The final system is relatively fragile and the manipulation has to be very gentle to suppress its damage. In order to protect the system we have designed a special holder, which protects the system and enables us to manipulate with a larger number of phase plates on the platinum apertures at the same time. Cleaning procedures are heating at 200 °C or plasma cleaning by oxygen radicals.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0326004