Korektor sférické vady používající čočku s grafénovou fólií

0550696 - ÚPT 2022 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Vašina, R. - Seďa, B. - Radlička, Tomáš
Korektor sférické vady používající čočku s grafénovou fólií.
[Graphene Foil Len Corrector.]
Interní kód: APL-2021-14 ; 2021
Technické parametry: Korektor je zamýšlen jako součást skenovacího elektronového mikroskopu, která bude korigovat jeho sférickou vadu. Je to elektrostatická čočka sestávající se z dvojice elektrod, na kterých lze libovolně měnit potenciál dvou stínících elektrod. V otvoru jedné ze stínících elektrod je kruhová apertura, která je překryta tenkou grafénovou folií (řádově 1 - 3 atomové vrstvy grafénu), která zaručuje diskontinuitu elektrostatického pole a zároveň minimálně ovlivňuje elektrony při jejich průchodu folií. Systém je vybaven mechanismem vypékání grafénové folie.
Ekonomické parametry: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Tomáš Radlička, Ph.D., radlicka@isibrno.cz.
Grant CEP: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: scanning electron microscope * corrector of spherical aberration * resolution * graphene foil
Obor OECD: Electrical and electronic engineering

Jedná se o nový korektor sférické aberace navržený pro skenovací elektronový mikroskop Apreo, který využívá diskontinuity elektrostatického pole na grafénové folii, kterou je pokrytý otvor v jedné z elektrod. Tato diskontinuita obchází podmínky Scherzerova theoremu, což umožňuje tento prvek nastavit tak, aby měl zápornou sférickou vadu. Při správném nastavení zbytku systému je pak možné zcela korigovat sférickou aberaci třetího řádu, aniž by došlo ke zhoršení jiných parametrů mikroskopu. Pro některá nastavení mikroskopu Apreo umožňuje tento systém zvýšení rozlišení na dvojnásobek.

Graphene foil lens corrector is a new design of a spherical aberration corrector, which utilizes the electrostatic field discontinuity on the graphene foil covering bore of one of the electrodes. Using electrostatic field discontinuity overcomes Scherzer’s theorem, which enables attainment of negative spherical aberration at the corrector. In the case of the proper regime of the condenser system and objective lens, it corrects the spherical aberration of the whole microscope without perturbing other electron-optical properties. It increases the resolution of the Apreo microscope by factor 2 for some specific regimes.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0326000