Senzorový substrát pro detekci plynných látek

0540867 - FZÚ 2021 RIV cze P - Patentový dokument
Novotný, Michal - Lančok, Ján - More Chevalier, Joris - Fitl, P. - Vrňata, M. - Vlček, J. - Moravec, V. - Bodnár, M.
Senzorový substrát pro detekci plynných látek.
[Sensor substrate for detecting gaseous substances.]
2020. Vlastník: Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.- Vysoká škola chemicko-technologická v Praze -TESLA BLATNÁ, a.s. Datum udělení patentu: 23.04.2020. Číslo patentu: 308343
Grant CEP: GA MPO FV20350
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: sensor substrate * detecting gaseous substances * inter-digital electrodes * platinum heating meander
Obor OECD: Materials engineering
https://isdv.upv.cz/doc/FullFiles/Patents/FullDocuments/308/308343.pdf

Senzorový substrát je vytvořený na nosiči z materiálu ze skupiny keramika, křemen, sklo, na jehož horní straně jsou uspořádány interdigitální elektrody s prvními kontaktními plochami a na jehož spodní straně je vytvořen platinový topný meandr s třetími kontaktními plochami. Interdigitální elektrody na jeho horní straně jsou uspořádány ve tvaru osově souměrného kříže o tloušťce vrstvy elektrody 300 nm až 500 nm. Na této horní straně jsou proti třetím kontaktním plochám vytvořeny souose druhé kontaktní plochy. Třetími kontaktními plochami, nosičem a druhými kontaktními plochami prochází otvor, jehož stěny jsou potaženy kovovým materiálem překrytým vrstvou AgPd pasty a tvoří tak prokov vodivě spojující horní stranu se spodní stranou nosiče. Třetí kontaktní plochy na spodní straně nosiče jsou propojeny s platinovým topným meandrem majícím tloušťku v rozmezí 600 nm až 1000 nm, šířku čáry 50 až 100 μm.

The sensor substrate is formed on a support of a material from the group of ceramics, quartz, glass, on the upper side of which interdigital electrodes with first contact surfaces are arranged and on the lower side of which platinum heating meander with third contact surfaces. The inter-digital electrodes on the upper side are arranged in the shape of an axially symmetrical cross with an electrode layer 300 nm to 500 nm thick. On this upper side, coaxially second contact surfaces are formed opposite the third contact surfaces. The opening passes through the third contact surfaces, the carrier and the second contact surfaces, the walls of which are coated with a metal material covered with a layer of AgPd paste and forms metal plate conductively connecting upper side with the lower side of the carrier. The third contact surfaces on the underside of the support are connected to a platinum 600 nm to 1000 nm thick heating meander and a line width of 50 to 100 μm.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0318465