SMV-2020-30: Návrh technologie přípravy a realizace tenkovrstvého systému na vysokoteplotní plastový polymer

0536029 - ÚPT 2021 CZ cze V - Výzkumná zpráva
Fořt, Tomáš
SMV-2020-30: Návrh technologie přípravy a realizace tenkovrstvého systému na vysokoteplotní plastový polymer.
[SMV-2020-30: Deposition technology and implementation of layer system on high temperature polymer.]
Brno: Thermo Fisher Scientific Brno s.r.o., 2020. 2 s.
Zdroj financování: N - neveřejné zdroje
Klíčová slova: thin films * high temperature polymer * sputtering
Obor OECD: Coating and films

Návrh technologie přípravy a realizace vrstvových systémů na vysokoteplotní plastový polymer s ověřením vhodnosti tohoto polymeru pro PVD technologii, jakou je naprašování, kdy musí být slučitelný s vakuovými požadavky pro depozici a to i při ohřevu dopadajícími atomy deponované vrstvy.

We have developed deposition technology and implementation of layer systems deposited on high temperature polymer. We proved compatibility of the high temperature polymer with PVD technology we used. Sputtering requires high vacuum background pressure, it means that polymer material when heating during sputtering must not leak gases.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0313878