Počet záznamů: 1
SMV-2019-68: Implementace pokročilého řízení a Implementace opto-mechanického modulu
- 1.0518704 - ÚPT 2020 RIV CZ cze V - Výzkumná zpráva
Šerý, Mojmír
SMV-2019-68: Implementace pokročilého řízení a Implementace opto-mechanického modulu.
[SMV-2019-68: Implementation of advanced management and Implementation of optomechanical module.]
Brno: IQS nano s.r.o., 2019. 2 s.
Zdroj financování: N - neveřejné zdroje
Klíčová slova: optics * laser * detection
Obor OECD: Optics (including laser optics and quantum optics)
V průběhu prací smluvního výzkumu byl vytvořen modul pro dynamickou detekci vertikální polohy substrátu založené na kvadraturní detekci astigmatických vlastností svazků laserových diod a modul pokročilého řízení expoziční dávky pro zápis ve vektorovém režimu. Oba moduly byly implementovány do aparatury a jejich funkce ověřena.
During the contract research work, a module for dynamic detection of vertical position of the substrate based on quadrature detection of astigmatic properties of laser diode beams and a module for advanced exposure control for writing in vector mode were created. Both modules were implemented in the apparatus and their function verified
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0303770
Počet záznamů: 1