Integrovaný laserový snímač délky s kontaktním dotekem

0508303 - ÚPT 2020 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Řeřucha, Šimon - Šarbort, Martin - Holá, Miroslava - Oulehla, Jindřich - Lazar, Josef - Konečný, P. - Kůr, J. - Klapetek, P. - Číp, Ondřej
Integrovaný laserový snímač délky s kontaktním dotekem.
[Integrated laser-based displacement gauge with contact tip.]
Interní kód: APL-2019-05 ; 2019
Technické parametry: Rozsah měření délek až 10 mm, rozlišení měřené vzdálenosti 1 nm, linearita měření délky < 10 nm, absolutní přesnost < 100nm, režim měření: inkrementální, rozsah provozních teplot 18-28 oC. Výsledek byl ověřen pro zavedení do výroby.
Ekonomické parametry: Prototyp realizovaný při řešení grantu a využívaný příjemcem s předpokladem smluvního rozdělení výnosů. Je uzavřená Smlouva o využití výsledku výzkumu a vývoje s dohodnutým rozdělením výnosů. Kontakt: Mgr. Šimon Řeřucha, Ph.D., res@isibrno.cz
Grant CEP: GA MPO(CZ) EG15_019/0004676
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: laser interferometry * optical metrology * displacement gauge
Obor OECD: Optics (including laser optics and quantum optics)

Nový délkový snímač založený na patentovaném principu laserové interferometrie s modulací vlnové délky laseru slouží pro odměřování vzdáleností. Odměřování je zajištěno měřicím hrotem snímače, na který je připojen miniaturní odražeč laserového interferometru. Vlastní interferometr má vláknové vedení laserového světla z externího laserového zdroje. Snímač dovoluje odměřování vzdáleností v rozsahu deset milimetrů s rozlišením v řádu desetin nanometrů, opakovatelností < 10nm (k = 2) a absolutní přesností < 100nm. Využití snímače se předpokládá v oblasti přesného odměřování délek ve výzkumu i v průmyslových aplikacích.

New integrated length sensor gauge for displacement measurement based on the patented principle of laser interferometry with modulation of the laser wavelength. Measuring is provided by the measuring tip of the sensor, to which a miniature laser interferometer reflector is connected. The interferometer itself has a fiber delivery from an external laser source. The sensor allows measuring distances in the range of ten millimeters with resolution in the order of tenths of nanometers, repeatability <10nm (k = 2) and absolute accuracy <100nm. The sensor is supposed to be used in the area of precise length measurement in research and industrial applications.


Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0299250