Interferometrická sestava pro diferenční měření vzdálenosti

0500966 - ÚPT 2019 RIV cze P - Patentový dokument
Lazar, Josef - Číp, Ondřej - Hrabina, Jan
Interferometrická sestava pro diferenční měření vzdálenosti.
[Interferometric assembly for differential measurement of distance.]
2014. Vlastník: Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. Datum udělení patentu: 26.02.2014. Číslo patentu: 304317
Grant CEP: GA TA ČR TA02010711
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: metrology * interferometry * laser
Obor OECD: Nano-materials (production and properties)
https://isdv.upv.cz/doc/FullFiles/Patents/FullDocuments/304/304317.pdf

Interferometrická sestava pro diferenční měření vzdálenosti obsahuje první a druhý hranol (1 a 2), jejichž průřezy rovnoběžné se základnami prvního a druhého hranolu (1 a 2) jsou pravoúhlé trojúhelníky. První a druhý hranol (1 a 2) přiléhají k sobě svými prvními stěnami (3, 4), které jsou protilehlé hranám, v nichž se sbíhají druhá a třetí stěna (9, 14 a 6, 12) prvního a druhého hranolu (1 a 2) pod pravým úhlem, v dělicí polarizační vrstvě (5). Interferometrická sestava dále obsahuje zdroj (19) záření vstupujícího do prvního hranolu (1) pod úhlem 45° vůči dělicí polarizační vrstvě (5), první koutový odražeč (18) přiléhající k druhé stěně (6) druhého hranolu (2) v rovině rovnoběžné se vstupujícím zářením (7) a první čtvrtvlnnou zpožďovací deskou (8) přiléhající k třetí stěně (9) prvního hranolu (1), která je protilehlá k druhé stěně (6) druhého hranolu (2) a je s ní rovnoběžná a je rovnoběžná s první a druhou měřenou plochou (10, 11), jejichž vzdálenost se měří. Podstatou řešení je, že ke třetí stěně (12) druhého hranolu (2), která je kolmá jak na druhou stěnu (6) druhého hranolu (2), tak i na třetí stěnu (14) prvního hranolu, přiléhají vedle sebe uspořádané druhý a třetí koutový odražeč (13 a 17), zatímco ke středové části druhé stěny (9) prvního hranolu (1) přiléhá druhá čtvrtvlnná zpožďovací deska (15), překrytá rovinným zrcadlem (16).

The interferometric assembly for differential measurement of distance according to the present invention comprises a first and a second prisms (1 and 2), the cross sections of which being parallel to the bases of both the first and the second prisms (1 a 2) are rectangular triangles. The first and second prisms (1 a 2) abut against each other by their first walls (3, 4), which are opposite to edges at which the second and third walls (9, 14 a 6, 12) of the first and second prisms (1 a 2) converge under a right angle in the parting polarization layer (5). The interferometric assembly further comprises a radiation source (19) entering the first prism (1) under an angle 45 degrees relative to the parting polarization layer (5), a first corner reflector (18) abutting the second wall (6) of the second prism (2) in a plane parallel to the incoming radiation (7) and a first quarter-wave retardation plate (8) abutting the third wall (9) of the first prism (1), which is opposite to the second wall (6) of the second prism (2) and is parallel therewith as well as with a first and a second measured surfaces (10, 11), the distance of which is to be measured. The invention is characterized in that a second and a third corner reflectors (13 and 17) arranged side-by-side abut the third wall (12) of the second prism (2), which is perpendicular to both the second wall (6) of the second prism (2) and the third wall (14) of the first prism (1), while a second quarter-wave retardation plate (15) covered by a plane mirror (16) abut the central portion of the second wall (9) of the first prism (1).





Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0293001