In-situ držák pro SEM umožňující zobrazování tenkých vzorků s možností práce při vyšších teplotách

0498267 - ÚPT 2019 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Skoupý, Radim - Krzyžánek, Vladislav
In-situ držák pro SEM umožňující zobrazování tenkých vzorků s možností práce při vyšších teplotách.
[In-situ SEM holder for imaging of thin samples with possibility of imaging at high temperature.]
Interní kód: APL-2018-09 ; 2018
Technické parametry: In-situ držák pro rastrovací elektronové mikroskopy (SEM) vybavené kryo-systémem typu Bal-Tec (Balzers, Lichtenštajnsko) a Leica microsystems (Vídeň, Rakousko) pro účely pozorování vzorků při vysokých teplotách. In-situ držák byl navržen pro pozorování velmi tenkých vzorků umístěných na TEM síťkách a to tak, aby bylo možné pozorování v transmisním módu pomocí retraktabilního STEM detektoru. Zároveň in-situ držák umožňuje pozorování vzorků pomocí detektoru pro energiově-disperzní analýzu paprsků rentgenového záření (EDX) a katodoluminiscenčního (CL) detektoru. In-situ držák je navržen takovým způsobem, aby jej bylo možné přenášet pomocí kryo-vakuového transferu VCT100 (Bal-Tec, Balzers, Lichtenštajnsko a Leica microsystems, Vídeň, Rakousko). In-situ držák umožňuje pevné uchycení až čtyř TEM sítěk standardních rozměrů (tj. průměr 3.05 mm) na konci ramene směřujícího od základny. Vzdálenost středu TEM sítěk od základny je 17 mm, což zaručuje možnost jeho použití pro většinu komerčně dostupných retraktabilních polovodičových STEM detektorů (testováno na STEM detektorech firmy FEI). Rozsah provozních teplot držáku je v rozmezí od pokojové teploty do 500 K.
Ekonomické parametry: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Ing. Radim Skoupý, ras@isibrno.cz
Grant CEP: GA TA ČR TG03010046; GA MŠMT(CZ) LO1212
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: In-situ SEM * in-situ STEM * in-situ holder
Obor OECD: Electrical and electronic engineering

Držák velmi tenkých vzorků pro jejich zobrazování v rastrovacím elektronovém mikroskopu (SEM) v transmisním módu pomocí STEM detektoru a zároveň umožňující jejich analýzu pomocí EDX nebo CL detektoru. Veškerá pozorování/analýzy jsou možné v teplotním rozsahu od pokojové teploty po 500 K.

A new holder for investigations of very thin specimens in a scanning electron microscope (SEM) in the transmission mode using a STEM detector, enabling analysis by EDX or CL detector. All investigations/analysis are possible in the temperature range from room temperature to 500 K.


Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0290660