SMV-2018-03: Optimalizace přípravy difraktivních optických struktur

0497917 - ÚPT 2019 RIV CZ cze V - Výzkumná zpráva
Horáček, Miroslav - Kolařík, Vladimír - Matějka, Milan - Krátký, Stanislav - Chlumská, Jana - Meluzín, Petr - Král, Stanislav
SMV-2018-03: Optimalizace přípravy difraktivních optických struktur.
[SMV-2018-03: Optimization of difractive optical elements fabrication.]
Brno: IQ Structures, 2018. 8 s.
Zdroj financování: N - neveřejné zdroje
Klíčová slova: e-beam lithography * diffractive optical element * atomic force microscopy * scanning electron microscopy
Obor OECD: Optics (including laser optics and quantum optics)

Výzkum a vývoj v oblasti přípravy difraktivních optických elementů pomocí elektronové litografie s ohledem na možnosti kopírování jednotlivých typů struktur. Projekt se soustředí na optimalizaci datové přípravy difraktivních mřížek s různými tvary profilů. Různé typy mřížek jsou přípraveny pomocí elektronové litografie a budou použity jako srovnávací standard pro následně vyrobené kopie pomocí galvanického pokovování a lisování do fólie. Připravené struktury jsou analyzovány na mikroskopu atomárních sil a elektronovém rastrovacím mikroskopu.

Research and development in the field of diffractive optical elements fabrication by the way of e-beam lithography with respect to replication possibilities of various types of structures. Project deals with data preparation optimization for diffractive gratings with various profile’s shape. Various types of diffractive gratings are prepared by e-beam lithography. They will serve as a metric standard for replicas prepared by electroforming and foil stamping. Prepared samples are analyzed by atomic force microscope and scanning electron microscope.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0290378