Zkušenosti s používáním ion beam figuring technologie v TOPTEC

0490470 - ÚFP 2019 RIV CZ cze J - Článek v odborném periodiku
Polák, Jaroslav - Karabyn, Vasyl - Procháska, František - Tomka, David
Zkušenosti s používáním ion beam figuring technologie v TOPTEC.
[Experiences with using of Ion Beam Figuring technology at TOPTEC IPP CAS, v. v. i.]
Jemná mechanika a optika. Roč. 63, č. 2 (2018), s. 65-67. ISSN 0447-6441
Grant CEP: GA MŠMT(CZ) LO1206
Institucionální podpora: RVO:61389021
Klíčová slova: IBF * Ion Beam Figuring
Obor OECD: Applied mechanics

Článek představuje v České republice unikátní technologii korektivního leštění iontovým svazkem (IBF) používanou na pracovišti ÚFP TOPTEC. Tato technologie se v poslední době stala zavedenou alternativou k ostatním metodám leštění používaných při výrobě ultra přesné optiky, kde je zejména používána k velmi preciznímu tvarovému korigování sférických, asférických i freeform optických elementů. Leštění iontovým svazkem je založené na ostřelování opracovávaného povrchu proudem urychlených částic, což vede k lokálnímu odstraňování materiálu. Tvarových korekcí je pak dosahováno rastrováním povrchu vhodnou časově modulovanou rychlostí. V presentovaném článku jsou kromě vysvětlení základních principů rovněž uvedeny některé možnosti nastavení zařízení a příklady dosažených výsledků tvarových korekcí, kdy se výsledná tvarová přesnost pohybovala okolo 50 nm PV.

This article presents in Czech Republic unique technique of Ion Beam Figuring (IBF) used at the TOPTEC Centre. The IBF technology have become an established alternative to common polishing methods in manufacturing of optics and it is increasingly used for the precise figuring and finishing of optical elements, such as spheres, aspheres and free forms. The process is based on the workpiece surface bombarding by a stable beam of accelerated particles that locally removes material from the surface. Figure corrections are achieved by the workpiece surface rastering at appropriate, time-varying velocities. In this article besides the IBF method basis some possibilities of machine settings and examples of achieved figure corrections results with accuracy 50 nm PV are also shown.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0285696