Zařízení pro vyvedení XUV a/nebo měkkého rentgenového záření z komory do vakua a způsob provedení tohoto procesu

0456026 - ÚFP 2016 RIV cze P - Patentový dokument
Prukner, Václav - Koláček, Karel - Schmidt, Jiří - Štraus, Jaroslav - Frolov, Oleksandr
Zařízení pro vyvedení XUV a/nebo měkkého rentgenového záření z komory do vakua a způsob provedení tohoto procesu.
[Method of extracting XUV and/or soft X-ray radiation from a chamber to vacuum and device for making the same.]
2015. Vlastník: Ústav fyziky plazmatu Akademie věd České republiky, v. v. i. Datum udělení patentu: 08.07.2015. Číslo patentu: 305364
Institucionální podpora: RVO:61389021
Klíčová slova: XUV-radiation
Obor OECD: Optics (including laser optics and quantum optics)
http://isdv.upv.cz/portal/pls/portal/portlets.pts.det?xprim=1470640&lan=cs&s_majs=&s_puvo=&s_naze=&s_anot=

Řešení se týká zařízení a způsobu vyvedení XUV a/nebo měkkého rtg záření z komory naplněné kapalinou do vakua, při kterém se využívá exploze kovového drátku uloženého vakuotěsně v dielektrické zátce a připojeného v komoře k vysokonapěťové elektrodě a v evakuovaném prostoru k zemnicí elektrodě. Komora a evakuovaný prostor jsou od sebe oddělené dělicí stěnou, v níž je vakuotěsně uložená dielektrická zátka. Po přivedení VN impulzu na vysokonapěťovou elektrodu protéká mezi vysokonapěťovou elektrodou a zemní elektrodou elektrický proud, který drátek roztaví, vypaří a zionizuje a vytvoří tak kanál naplněný horkým, hustým plazmatem generujícím intenzivní XUV a/nebo měkké rtg záření šířící se do evakuovaného prostoru. Kanál s kapalnými stěnami jak v komoře naplněné kapalinou, tak v dielektrické zátce po skončení proudového pulzu zaniká, tavenina stěn otvoru v dielektrické zátce otvor uzavírá a chladne, a tím opět vakuotěsně odděluje komoru naplněnou kapalinou od evakuovaného prostoru

The present invention relates to a method of and device for extracting XUV and/or soft X-ray radiation from a chamber (3) filled with a liquid to vacuum. The method of the present invention uses explosion of a metal wire (2) disposed vacuum-tight within a dielectric plug (4) and connected in the chamber (3) to a high-voltage electrode (1) a in an evacuated space (8) to an earth electrode (7). The chamber (3) and the evacuated space (8) are separated from each other by a parting wall (5) with the dielectric plug (4) mounted in vacuum-tight manner therein. After application of a high-voltage pulse to the high-voltage electrode (1), electric current flowing between the high-voltage electrode (1) and the earth electrode causes melting of the wire (2), which evaporates and ionizes creating thus a channel filled with a hot, dense plasma generating intense XUV and/or soft X-ray radiation propagating in the evacuated space (8). After termination of the current pulse, the channel with liquid
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0256607